至纯科技(603690)：年底订单全面加速 清洗设备迈入新的发展阶段

　　槽式设备订单已排产至下半年，奠定公司湿法设备基础①围绕着下游客户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期，公司的业务覆盖了高纯工艺系统、清洗设备、波汇科技、晶圆再生系统几大块。其中，公司的湿法清洗工艺设备目前包括槽式及单片设备。从槽式产品发展进度看，公司2018年开始取得订单，2019 年中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等用户的第一批装备基本完成交付，其中中芯有6 台装备投入使用，包括清洗、刻蚀、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。此外，公司2019 年新增加了华虹集团ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、华为等用户，而台湾力晶是中国大陆以外的首个湿法装备订单。总体来看，截至2019 年末，公司已经取得近40 台正式订单，已经完成近20 台设备装机，包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。2019 年湿法工艺装备的新增业务订单总额达约1.7 亿，远超之前的规划。至2019 年末，已经完成了多个工艺的8/12 寸全自动槽式装备、4 腔单片装备、12 寸12 腔先进工艺单片装备的研发及制造，产品线较为完善；②2020 年，虽Q1 受疫情影响，但Q2 起公司单片清洗和槽式湿法设备出机超过了10 台。其中槽式设备自3 月下旬开始，以每月2-3 台的数量交付设备给客户。截至2020 年底，公司的单片和槽式湿法设备全年出机超过了30 台。交付的设备中，涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤，包括光阻去除设备(PRS)、预清洗设备（PreClean）、有机溶剂清洗设备（Solvent）、金属剥离设备（metal liftoff）等。产品品类完善，客户认可度较强；

   　　③2020 年下半年起，下游前期的疫情影响逐渐消除。公司的订单全面供不应求，目前已经排产至2021 年3 季度。考虑到国内特色工艺产线/8 寸线等目前仍处于投资额持续上升的状态，基于公司目前在槽式清洗的卡位优势，公司未来订单仍有望持续增长。

   　　单片清洗空间更大，公司单片清洗设备步入订单收获期①在两大类清洗设备中，槽式清洗设备主要用在炉管前的清洗、去胶和薄膜沉积前的清洗、铜/钛刻蚀前清洗和氧化层/氮化硅刻蚀的清洗。而当工艺节点缩小到100nm 以下时，为了提高清洗性能，晶圆厂逐步切换至单片清洗设备。因此，在集成电路制造的先进工艺中，单片清洗已逐步取代槽式清洗成为主流。同样的，我们结合清洗设备领域龙头迪恩士2020 年的财报来看，清洗设备收入中单片清洗设备占比达到了65%，进一步说明了单片清洗设备逐渐成为湿法清洗工艺中最主要的设备类型；

   　　②公司在单片清洗领域一直都有投入。2020 年6 月，公司交付给华虹集团ICRD 的12 寸单片式湿法设备正式搬入。2020 年年底，公司在国内一个重点项目上获得突破，获得批量的湿法订单，包括单片、特殊工艺（高温硫酸、晶背清洗、二流体清洗、异丙醇干燥）等机型，进一步填补了国产装备在湿法工艺领域的空白。同时，公司向合肥长鑫交付了一台12 寸的特殊工艺的单片设备，相关能力和性能获得了国际大厂认可。至2020 年底，公司S300 单片湿法设备的订单超过10 台，单片式湿法设备合同金额超过3 亿元；③总体看，公司目前湿法工艺设备所能生产的晶圆技术节点已经覆盖0.35um 到28nm，覆盖了先进工艺、功率器件、微机电器件、以及第三代化合物半导体等集成电路的制造与研发。未来随着单片清洗设备的放量，有望分享国内近百亿的半导体清洗设备市场空间。

   　　公司已基本完成BU1-5 业务布局，贯穿客户全生命周期：

   　　①公司目前资源的重点布局是集成电路（半导体）领域，公司BU1（高纯工艺系统）、BU2（湿法设备及晶圆再生服务）、BU3（电子材料及部件）均服务于半导体板块，服务于同一批客户，但产品和服务对应的是用户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期。与此同时，公司还有生物制药板块（BU4）、波汇科技为代表的光电子板块(BU5)；

   　　②就主业高纯工艺系统板块来看， 2020 年上半年疫情对行业有部分影响，但下半年行业整体恢复增长。往年11-12 月份都是公司催款、验收的时间，而2020 年11-12 月份，相关业务还在竞标、开标状态，因此公司订单呈现快速增长状态；

   　　③就晶圆再生业务来看，公司合肥项目已经进入到内部装修、最后设备调试的阶段，预计2021 年Q1 就可已通过相关客户的认证和流片，建成后是国内第一条可以满足12 英寸、14nm 晶圆再生需求的产线。项目首期产能计划为7 万片月产，年产84 万片。目前产能已基本已被下游客户预定。

   　　④展望长期，在五年规划中，公司的目标是系统集成事业部（BU1，至纯集成）每年目标超过10 亿订单贡献；湿法事业部（BU2,至微科技）五年内有超过200 台各类湿法清洗机台的装机量；材料零部件事业部（BU3，至一电子） 将投资和开发集中于28-14 纳米制程的高纯电子材料和相关零部件；湿法事业部（BU2,至微科技）投资和发展晶圆再生服务；生物制药和食品饮料领域（BU4, 珐成浩鑫）大力发展模块化工艺系统；光纤传感业务和光器件业务（BU5,波汇科技）成为细分应用龙头。总体看，公司目前业务布局更加清晰，长期发展逻辑更加通顺。

   　　投资建议：公司目前业务围绕下游客户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期展开。主业高纯系统方面，受益于近两年国内半导体厂商建厂高峰，公司高纯系统订单保持稳定增长，且利润率有望持续回升；清洗设备方面，公司槽式湿法设备订单持续累积，产品线逐渐丰富，且交付顺利，深受客户认可；单片清洗设备也已经成功完成交付，累计订单突破3 亿，成为公司下一阶段发展的最大看点。上调公司2020-2022 年收入至12.94/18.87/23.50 亿元，归母净利润分别为2.02/3.00/3.88 亿元，上调目标价至58.3 元，维持“买入”

   　　评级。

   　　风险因素：国际贸易摩擦影响行业发展的风险