微导纳米(688147)：23年至今新签订单高增长 拓展半导体CVD设备市场空间打开

　　事件：公司发布2022 年年报及2023 年一季报。

   　　2022 年全年收入高增长，23Q1 客户验收节奏导致收入波动2022 年实现营收6.85 亿元，同比+60%；归母净利润0.54 亿元，同比+17%；扣非归母净利润0.2 亿元，同比-26%。收入端实现高增长，主要系订单增速较快，光伏PERC 及TOPCon 等高效电池领域和半导体领域销量增长。2022 年毛利率42.3%，同比下降3.5pct，净利率7.9%，同比下降2.9pct，毛利率波动主要原因系产品线扩张，部分低毛利设备确认收入所致。

   　　2023 年第一季度收入0.76 亿元，同比下降43%；归母净利润-109 万元，同比下降142%。收入和利润波动主要系客户项目实施和验收节奏所致：一季度验收项目规模较小，部分费用前置影响利润。预计2023 年收入仍维持高速增长。

   　　新签订单高增长，在手订单充沛业绩增长可期2023 年初至4 月24 日，公司新增专用设备订单 22.74 亿元，其中新增半导体设备订单 2.42 亿元，新增光伏设备订单 20.16 亿元，新增其他设备订单 1580 万元。截至2022 年末，公司在手订单 22.93 亿，其中半导体设备订单2.57 亿，光伏设备订单19.67 亿。据此我们测算，截至4 月末公司半导体在手订单约5 亿元，约为22 年半导体收入0.47 亿的11 倍，光伏在手订单约39 亿，约为22 年光伏设备收入5.01 亿的8 倍。截至2023 年一季度末，公司合同负债9.48 亿元，相较于2022 年末增长3.2 亿元，验证公司订单增速快。受益于半导体领域客户拓展及新品类驱动，以及光伏领域TOPCon 等新型电池技术扩产，公司全年订单有望维持高增长。

   　　半导体设备：ALD 设备技术引领行业，拓展CVD 设备市场空间打开据公司22 年报，半导体设备新增CVD 和PE-ALD 两类设备，CVD 正在与客户试样，PE-ALD 设备已签署合同处于产业化验证阶段。据SEMI，22 年我国半导体设备市场规模283 亿美元（约1900 亿元），其中薄膜沉积设备市场规模约420亿元，ALD、CVD 设备分别占薄膜沉积设备11%、57%，测算得ALD、CVD 设备市场规模分别为46、239 亿元，新品类延伸带动公司市场空间大幅扩展。

   　　公司半导体 ALD 设备已在多个半导体细分应用领域取得订单：1）逻辑芯片领域，28nm High-k ALD 设备获得客户验收并取得重复订单。2）存储芯片领域，ALD 设备在高 K 栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于 DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。公司单片ALD 设备已获得重复订单，批量型ALD 设备获得客户订单，且为行业首台批量型 ALD 设备在存储芯片制造领域的应用。3）新型显示领域：ALD 主要用于沉积硅基微型显示芯片的阻水阻氧保护层，公司已获得多个客户订单。4）化合物半导体领域，ALD 技术适合生长超薄Al2O3、AlN 等膜层作为钝化层和过渡层，保证器件具有良好的漏电和击穿性能，公司已取得客户订单。

   　　光伏设备：光伏ALD 设备龙头地位稳固，TOPCon 设备获得头部客户批量订单光伏领域公司优势设备为ALD 设备，主要镀氧化铝层。在2022 上半年TOPCon、xBC 产线招标中，公司ALD 设备中标产线规模均达75%。公司不断拓展产品线，从ALD 设备拓展至TOPCon 整线设备，可提供的TOPCon 设备价值量提升至产线投资额的40-50%，并完成GW 级别TOPCon 整线设备验证。公司PE-Poly 设备获得龙头客户认可，PE 设备市占率有望提升。公司积极推进钙钛矿设备验证，设备可应用于钙钛矿/异质结叠层电池等的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料，已发往客户端验证。今年TOPCon 迎扩产高峰，公司订单有望延续高增速。

   　　盈利预测：2022 年至今公司订单高速增长，预计将带动公司收入端快速增长；同时考虑到2023-2025 年存在股权支付费用，我们预计23-25 年利润率逐年提　　升。预计2023-2025 年公司实现营收为14.0、23.5、35.4 亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09 亿元，对应PE 为239、111、59 倍。维持“增持”评级。

   　　风险提示：国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场 发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险