万业企业(600641)：国内首台离子注入机顺利过验 半导体国产设备取得标志性突破

　　事件描述：公司发布半年报，上半年实现营业收入6.09 亿元，同比增长28.25%，实现归母净利润2.79 亿元，同比增长55.18%。其中半导体设备实现营收0.35 亿元，同比增长231.76%。

   　　首台国产集成电路离子注入机通过主流晶圆大厂12 英寸厂线验证，凯世通迎来半导体设备国产替代重大转折点。根据中报披露，21 年上半年万业子公司凯世通的设备验证、订单交付与订单签署等工作取得显著进展，实现了国内首台低能大束流离子注入机在12 英寸主流晶圆厂的设备验证并确认收入，2台低能大束流设备的交付，1 台高能离子注入机的交付组装。同时，公司新增与国内另一家主流晶圆厂的订单签署，分别为1 台低能大束流和1 台高能离子注入机订单。我们认为，首台设备过验意味着凯世通的离子注入机已经具备较高的工艺水准，能够满足国内晶圆厂的严格要求，为未来的设备国产化加速夯实了基础。目前凯世通是国内唯一一家通过验证的离子注入设备供应商，随着国产替代加速推进，凯世通的成长空间已经打开，未来订单可期。

   　　超短时间过验背后意义重大，凯世通超群能力逐步显现。根据20 年年报，凯世通于20 年9 月将设备搬入主流大厂进行验证，同年12 月又签署了3 个12英寸设备订单。截至目前，上述4 台设备已验收1 台，交付2 台，组装1 台。

   　　从时间进度来看，凯世通仅用了不到1 年的时间便完成了首台设备的验证通过，时间短、效率高、进度快、超预期。我们认为，超短时间过验背后有两层含义，第一是从产业上来看，国产替代加速的趋势不可逆，产业链上下游对推进国产替代的目标重视、意愿强烈、支持力度增加；另一方面，凯世通自身的能力超群，其已具备生产超越7nm 离子注入平台的能力，领先于国内。

   　　确保特种气体精准运输，Compart Systems 填补设备上游产业链空白。

   　　Compart Systems 是全球领先的半导体设备所需的气体输送系统领域供应商，产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统，是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司。

   　　我们认为，对Compart Systems 的收购将有望在子系统零部件环节提升设备厂的优势，实现国产厂商强强联合。

   　　公司盈利预测及投资评级：我们预计公司2021-2023 年净利润分别为3.96、5.18 和7.16 亿元，对应EPS 分别为0.41、0.54 和0.75 元。当前股价对应2021-2023 年PE 值分别为61.85、47.28 和34.25 倍。我们看好公司通过凯世通实现集成电路离子注入机的国产替代突破，在晶圆厂通过验证后实现订单的快速增长；同时依靠对Compart Systems 的投资实现投资收益；未来仍有望通过充足的在手现金进行进一步的投资，从而带来收入和利润增量。维持“强烈推荐”评级。

   　　风险提示：公司经营业绩、离子注入机订单、行业增长低于预期。