至纯科技(603690)：湿法设备年产逾百台 投资基金布局高端装备

　　投资要点：

   　　事件：上海至纯洁净系统科技股份有限公司出资500 万元参与上海浚势创业投资合伙企业，上海浚势基金募集规模为30,000 万元人民币，至纯投资占比1.67%。

   　　半导体湿法制程设备新增订单快速增长。2019-2021 年， 年度新增订单分别为14.2/19.6/32.3 亿元。公司于2015 年布局湿法设备研发，2019-2021 年湿法设备新增订单分别为1.7/5.3/11.2 亿元。2022H1，公司新增订单总额为23.62 亿元，同比增长37.33%，其中半导体制程设备新增订单8.06 亿元，半导体板块新增业务订单额占比达82.50%；2022 年，制程设备的新增订单目标为20 亿元，依然保持50%以上的高速增长。

   　　先进制程、特殊工艺取得突破，单片式清洗设备订单快速增长。2021 年，公司拿到13 位用户的重复订单，期间又开拓了10 位新用户，均为主要晶圆制造企业。12 英寸湿法设备新增订单超过6 亿元，其中单片式湿法设备订单超过3.8 亿元，占比过半；公司已经获得28nm 全系列认证（包括湿法刻蚀、去胶、清洗、刷洗等工艺），首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，在14nm以下制程也拿到4 台湿法设备订单。湿法设备尤其是单片式设备业务已经进入加速放量阶段，成为公司新的业绩增长点。特殊工艺类，2021 年公司在氮化镓和碳化硅产线上也拿到了整条线的湿法设备订单。

   　　引入大基金二期、中芯聚源等产业资本加持，本次参与上海浚势强化投资布局。2021 年，控股子公司至微半导体（上海）通过增资控股方式引入战略投资者，包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等，本次增资前至微科技估值为25 亿元，交易后上市公司持有至微科技股权比例从99.3407%下降至77.11%。本次参与投资基金积极布局具有前景的战略新兴产业，在高端装备制造领域和新一代信息技术领域充分挖掘和孵化优质项目，未来能够与上市公司产生业务协同并增强市场竞争力。

   　　立足高纯工艺系统布局半导体湿法工艺设备及晶圆再生，半导体业务战略三位一体。公司在半导体相关业务领域不断拓展，从高纯工艺系统到湿法工艺设备。2021 年以来合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，合肥布局晶圆再生及部件清洗项目是国内首条投产的12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线，年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局。

   　　调整盈利预测，维持“买入”评级。由于投资收益预期下降，将2022/23 年归母净利润预测从4.21/5.24 亿元下调至3.30/4.52 亿元，新增2024 年预测5.38 亿元。至纯科技2023PE30X，远低于申万半导体设备板块2023 平均PE 为84 倍，维持买入评级。

   　　风险提示：清洗设备订单不及预期；新产能不及预期；投资失败或亏损风险。