至纯科技(603690)：盈利能力稳步提升 湿法清洗设备加速发展

　　事件：

   　　公司发布2021三季报，实现收入12.83亿元，同比增长68.71%，归母净利润1.88亿元，同比增长127.96%，扣非净利润8,052.68万元，同比增长97.55%。

   　　三季度单季实现收入3.62亿元，同比增长51.68%，归母净利润3771.54万元，同比下降27.72%。

   　　点评：

   　　子公司收入确认存在季节性波动，湿法设备订单持续高增长公司前三季度的快速增长，主要源自于国内半导体产业高景气度带动的高纯业务与湿法清洗设备订单快速增长。三季度来看，由于子公司波汇收入确认存在季节性波动，一般收入确认集中在二、四季度，上半年同期波汇收入确认提前，导致同比经营数据下滑。毛利率方面，三季度毛利率达46.9%，同比、环比分别提升7.4、19.6个百分点，我们认为系公司高毛利湿法清洗设备占公司业务占比逐步提高。根据公司数据公布，截止至三季度末湿法部门已实现收入4.52亿元，收入占比达35%。

   　　持续加码湿法清洗设备，国产替代助力加速发展目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。伴随大基金二期、中芯聚源等国内顶级半导体产业基金入股至微，国产替代逻辑下公司湿法清洗设备进入加速发展期。

   　　盈利预测与评级

   　　维持对公司的盈利预测，预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元，看好公司半导体清洗设备的持续放量，维持“增持”评级。

   　　风险提示

   　　高纯系统订单不达预期，清洗设备基地进展放缓，下游需求不达预期。