深度*公司*芯源微(688037)：黄光区的设备国产化先锋 I-LINE和KRF涂胶显影进入放量阶段

公司发布2021 年报，营业收入8.29 亿元，同比增长152%；净利润0.77亿元，同比增长58%；扣非净利润0.64 亿元，同比增长396%；基本每股收益0.92 元，同比增长59%。

    支撑评级的要点

    收入强劲增长，涂胶显影机占主要部分。公司年报今日发布，总收入8.3个亿增长152%，其中涂胶显影收入5.1 个亿增长114%，占收入比例61%，而清洗设备2.9 亿元增长281%，收入占比35%。

    新增订单大幅增长，在手订单充裕。公司的存货金额及合同负债分别增长了132%和166%，且主营的光刻工序涂胶显影设备、单片湿法设备的库存量分别增长了145%和277%，表明公司的在手订单充足并积极准备零部件，公司业绩持续增长获得保障。

    涂胶显影机（Track）技术壁垒高。Track 也属于光刻工艺环节，但主要被东京电子（TEL）垄断了全球Track 市场，从国产化难度来看，既要与光刻机链接，又要解决复杂的结构设计。

    前道涂胶显影机放量在即，打破被TEL 垄断的竞争格局。公司涂胶显影设备陆续获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。公司生产的offline 涂胶显影机已实现批量销售，i-line 涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段、 KrF 涂胶显影机已经通过客户ATP 验收。据中国国际招标网数据，2022 年1 月公司又中标2 台黄光涂胶显影机。随着各项关键技术的突破及工艺验证的稳步推进，公司前道涂胶显影机具备快速实现国产替代的技术实力。

    盈利预测与评级

    鉴于公司的营收动力充足，前道业务陆续获得突破，预测22-24 年的净利润为1.33/2.07/2.86 亿元，维持买入评级。

    评级面临的主要风险

    国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件紧缺导致订单延迟交付。